1800年,汉弗莱认为二氧化硅是一种化合物而非一种元素,但是在1811年,盖 吕萨克和路易斯 牙科 莱纳德几乎就通过钾和四氟化硅的方法制备出了硅 1824年,琼斯 雅可比 贝采利乌斯用同样的方法制备出了无定形硅 1854年,亨利 戴维勒首先制备出了晶体硅,第二种同素异形体
1800., Sir Humphry Davy je vjerovao da je silika spoj, a ne element; ali 1811., Gay Lussac i Louis Jacques Thénard su vjerojatno pripremili nečisti amorfni silicij zagrijavanjem kalija sa silicijevim tetrafluoridom. 1824. Jöns Jakob Berzelius je pripremio amorfni silicij okvirno istom metodom. Henri Deville je 1854. prvi pripremio kristalni silicij, drugi alotropni oblik silicija.